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半導體大宗氣體儲運主要手段是什么?沃飛科技精準供氣守護生產環境

半導體大宗氣體儲運主要手段是什么?沃飛科技精準供氣守護生產環境

發布時間:2021-12-31
當下,半導體產業已經成為國家重點發展的行業??v觀整個半導體行業的生產過程,從芯片研發生產到零部件的封裝,幾乎每一個環節都離不開電子特氣,而且所用氣體的品種多、質量要求高,直接影響了集成電路的最終良率和可靠性,氣體品質若不合格輕則導致產品嚴重缺陷,重則導致整條生產線被污染乃至全面癱瘓,是名副其實的電子工業“血液”。在半導體集成電路中,電子氣體主要應用于蝕刻、摻雜、CVD、清洗等,所有氣體在其來源處都必須具有極高的純度,并且必須在工廠內存在的整個氣體分配系統中保持這種純度。一些氣體可能還需要進一步的使用點 (POU) 凈化,以確保關鍵過程中的超低污染物水平。其中,氮氣和氬氣是半導體制造廠中使用較為頻繁的氣體。它們通常以“59s”純度或 99.999% 純度供應給晶圓廠。這種純度水平是必要的,因為大量的這些氣體用于清洗工藝設備,即使非常低的污染水平也會在長時間的清洗循環中產生破壞性的累積污染水平。其他大氣(即氧氣、氫氣、氦氣)的使用量略低,純度水平略低,這是可以接受的(但所有這些氣體在交付和現場存儲設施中的純度必須高于 99%)。圖1。典型的散裝低溫氣體儲存和分配系統。在晶圓廠內,根據氣體的用途和性質,氣體可以以不同的方式儲存和分配。大容量大氣通常儲存在大型低溫液體儲罐中,例如圖 1 中以示意圖形式顯示的儲罐。這些儲罐本質上只是大型“杜瓦瓶”容器,內部容器包含包裹在外殼中的低溫液體內容器和外殼之間的高真空。真空是將液體保持在低溫下的最佳絕緣材料。除了低溫儲存,管式拖車通常用于現場儲存大量大氣。危險的高壓氣體包括具有自燃、易燃、腐蝕性和毒性特征的氣體(例如,硅烷、大多數碳氫化合物、氟化物和氯化物、磷化氫、胂等)。這些氣體通常儲存在高壓氣瓶中,高壓氣瓶必須保存在通風良好的氣柜中,氣柜專門設計用于減輕與特定氣體相關的危險。大多數半導體制造廠在現場都有大量這樣的機柜,并且有嚴格的規定來管理給定設施中有害氣體的放置和數量。(例如,參見美國國家防火協會發布的標準,特別是 NFPA 45,即使用化學品的實驗室防火標準)。圖 2 顯示了一個典型的危險氣體柜的示意圖,該柜設計用于容納自燃氣體,例如硅烷。這些機柜配備了適當的配件,用于連接高壓鋼瓶和閥門配置,這些配件設計用于交叉吹掃管道連接,以在斷開空鋼瓶之前去除殘留的氣體?,F代氣柜通常配備分析傳感器,可以檢測氣瓶或管道的任何泄漏。圖2。用于自燃氣體的氣柜。除了大容量儲存之外,一些高用量氣體可能會在現場使用氣體發生器產生,這些氣體發生器由氣體供應商向半導體工廠供應、維護和操作。長期以來,沃飛科技WOFLY把應用于電子半導體領域的特種氣體及大宗氣體作為重點研發方向,創新研發多款大宗氣體系統,可用于確保半導體晶圓廠環境中大宗氣體供應的質量。公司在系統安全、供氣穩定、連續不中斷的前提下,嚴格保證氣體的品質及可靠性,包括對氣體的壓力、露點、雜質、顆粒度、流速等都有嚴格精度要求,每一步均有嚴格的技術參數要求和質量控制措施,保證“超純超凈”。 當下,國內半導體產業迅猛發展,晶圓廠投產如火如荼,電子氣體已經成為國內不可避免的“卡脖子”環節,而沃飛科技基于嚴謹的品質意識、先進的管理理念和全方位的安全管理水平,用連續、穩定的產品和良好的服務贏得客戶的信任,以科技創新提供專業高質的電子氣體設備和整體解決方案,助力中國半導體產業的發展。
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